LOTTEi
이미징 분야에 최적화된 풀프레임 저온 냉각 진공 내 장착형 과학용 CCD 카메라
(Greateyes)
최대 16.8메가픽셀(Megapixel) 고해상도를 구현하는 이미징용 과학 카메라
LOTTE 인바큠(In-vacuum) CCD 카메라는 greateyes의 최신 과학용 카메라 솔루션으로, 진공 챔버(Vacuum Chamber) 내부에서 자유롭게 설치·운용할 수 있는 인바큠(In-vacuum) 이미징 플랫폼입니다. EUV, VUV, X선 검출에 적합한 후면조사형(Back-illuminated) CCD 센서를 기반으로 하며, 검출기 온도를 최대 -100°C까지 낮추는 고성능 저온 냉각(Deep Cooling) 시스템과 진공 환경 대응 트루(True) 18비트 전자 플랫폼을 함께 적용해, 저조도 측정에 필요한 초저노이즈 성능을 구현합니다. 또한 캡슐화 구조의 스테인리스강 하우징을 통해 경쟁 제품과 차별화되는 초저아웃가싱(Outgassing) 특성을 지속적으로 확보하며, 차별화된 기구 설계와 높은 성능이 결합돼 까다로운 저조도 과학 연구에 적합한 고급 CCD 카메라입니다. 다양한 편의 기능까지 더해져 사용자 경험과 실제 운용 가치도 함께 높인 구성이 특징입니다.
적용 분야
- EUV 리소그래피 (EUV Lithography)
- X선 단층촬영/투시촬영 (X-ray Tomography / Fluoroscopy)
- 푸리에 변환 홀로그래피 (Fourier Transform Holography)
- X선 회절 (X-ray Diffraction)
- X선 위상 대비 이미징 (X-ray Phase Contrast Imaging)
- 프티코그래피 분광현미경 (Ptychographic Spectromicroscopy)
- 사입사 소각 X선 산란 (Grazing-Incidence Small-Angle X-ray Scattering)
특징
- 최대 -100°C 초저온 TE 냉각
향상된 검출 한계를 위한 초저 다크 전류
- GigE 데이터 인터페이스
로컬 또는 원격 네트워크 운용 지원
- 최대 5 MHz 고속 판독 속도
저노이즈 전자회로와 결합된 고속 프레임 속도
- 초고진공(UHV) 호환성
최저 아웃가싱(Outgassing) 속도를 구현하는 캡슐화 설계
- 최대 98% 고양자효율(QE)
저조도 응용용 고감도 센서
- 유연한 소프트웨어 옵션
카메라 소프트웨어 및 SDK 제공
공통 사양
모델 Model | LOTTEi |
픽셀 판독 주파수 Pixel Readout Frequency | 50/100/250/500 kHz, 1 MHz, 3 MHz (5 MHz for visualisation mode; up to 20 MHz by multi-output) |
판독 모드 Readout modes | 2 output nodes for 1k1k & 2k2k cameras, 4 output nodes for 2k2k plus & 4k4k cameras |
AD 변환기 해상도 AD converter resolution | 18-bit |
선형성 Linearity | Better than 99% |
CCD 에피택셜 두께 CCD epitaxial thickness | 15 µm standard, 40 µm for deep depletion (DD) models |
피드스루 플랜 Feedthrough Flange | CF DN100 flange with D-sub electrical feedthrough connectors and 6 mm liquid feedthrough tubes (airside: G 1/4 fitting female; vacuum side: VCR 1/4 fitting female) |
진공 호환성 Vacuum Compatibility | 10⁻⁹mbar (UHV capability) |
베이크아웃 온도 Bakeout temperature | Max. +80°C |
플랜지–초점면 간 거리 Flange - focal place | 1k1k camera: 6 mm; 2k2k, 2k2k plus & 4k4k cameras: 5mm (all distances can be customised) |
온도 모니터링 Temperature monitoring | Two thermistors at CCD sensor and thermoelectric cooler (hot side) |
데이터 링크 Data Link | Gigabit Ethernet |
소프트웨 Software | greateyes Vision software for Windows 7 / 10 |
SDK 및 드라이버 SDK and drivers | DLL for Windows; LabVIEW, EPICS, Linux, Python, Tango driver (optional) |
TTL 인터페이스 신호 TTL interface signals | 1 Exposure out, 1 Trigger in |
입력 전원 Power Supply | 1k1k & 2k2k: 80-264 VAC (typ. 115/230), 47-63 Hz (typ. 50/60), max. 1.1 A (230 V) / 1.9 A (115 V) 2k2k plus & 4k4k: 85-264 VAC (typ. 115/230), 47-63 Hz (typ. 50/60), max. 1.9 A (230 V) / 3.8 A (115 V) |
인증 Certification | CE |
외형 치수 Dimensions (W x H x L) | rc version: 98 x 90 x 235 mm / 98 x 90 x 236 mm (4k4k cameras) sc version: 90 x 127 x 189 mm / 94 x 127 x 190 mm (4k4k cameras) |
중량 Weight | rc version: 4.4 kg / 5.2 kg (4k4k cameras); sc version: 4.6 kg / 5.3 kg (4k4k cameras) |
카메라 기본 포함 항목
| GE-InFI02 | CF DN100 flange with electical and liquid feedthroughs |
| GE-VacP01 | 2x in-vacuum hoses for cooling |
| GE-VacCab | 2x in-vacuum PTFE D-sub cables |
| GE-VI01 | greateyes Vision software suite for Windows |
| GE-SDK01 | SDK for Windows (C/C++ based) |
| GE-GigE10m | 10m Ethernet cable |
| GE-StoB2m | 2m SMB to BNC connection cable x2 |
| GE-POW01 | Camera power supply with cabling |
| GE-ManCam | Camera instruction manual |
양자 효율 곡선 (QE Curves)
STEP 1: 카메라 모델 선택
| LOTTEs Series | ||||||||
센서 코드 Sensor code | FI BI BI UV1 | BI DD | FI BI | BI DD BI UV1 | BI | BI | BI DD BI UV1 | |
유효 픽셀 수(열 × 행) Usable pixels (columns x rows) | 1024 x 1024 (FI) 1056 x 1027 (others) | 2048 x 2052 | 2048 x 2064 | 4096 x 4112 | ||||
유효 이미지 영역 Active image area | 13.3 mm x 13.3 mm | 27.6 mm x 27.6 mm | 30.7 mm x 30.7 mm | 61.4 mm x 61.4 mm | ||||
픽셀 크기 Pixel size | 13 µm x 13 µm | 13.5 µm x 13.5 µm | 15 µm x 15 µm | 15 µm x 15 µm | ||||
CCD 센서 냉각 CCD Sensor cooling | -100°C to 20°C | -80°C to 20°C | -80°C to 20°C | -80°C to 20°C | ||||
최대 전하 저장 용량 Full well capacity | 100 ke⁻ | 120 ke⁻ | 100 ke⁻ | 150 ke⁻ | 150 ke⁻ | 150 ke⁻ | 350 ke⁻ | |
레지스터 전하 저장 용량 / 출력 노드 Register well capacity / Output node | 400 ke⁻ / - | 400 ke⁻ / - | 600 ke⁻ / - |
|
|
| ||
대표 판독 노이즈 Typical read noise (e-) | @ 50 kHz | 2.8 | 3.4 | 4.6 | 4.6 | 2.8 | ||
| @ 1 MHz | 6.4 | 7.0 | 8.5 | 8.5 | 5.8 | |||
| @ 3 MHz | 10.9 | 13.6 | 17.0 | 17.0 | 10.4 | |||
대표 다크 전류 @ -100°C Typical Dark Current @ -100°C (e⁻ /pixels/s) | @ -80°C | @ -80°C | @ -80°C | @ -80°C | ||||
0.0003 | 0.015 | 0.0003 | 0.015 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0006 | ||
게인 Gain (counts/ e⁻) | 표준 모드 Standard Mode | 1 | 1 | 0.6 | 0.6 | 1 | ||
고용량 모드 High Capacity Mode | - | 0.34 | 0.2 | 0.2 | 0.34 | |||
CCD 센서 유형 CCD sensor type | Front-illuminated (FI), Back-illuminated (BI), Deep depletion fringe suppression (DD), Enhanched back-illuminated (BI UV1) | |||||||
결함 픽셀 기준 사양 Blemish Specifications | Grade 0 or Grade 1 (standard) as specified by sensor manufacturer. For more information please see: www.greateyes.de/en/glossar.html | |||||||
STEP 2: 카메라 디자인 선택
| ‘rc' version | ‘sc’ version |
직경이 콤팩트해 카메라 본체를 6인치 튜브 내부에 장착 가능 전기 및 냉각수 커넥터 후면 배치 | 카메라 길이 189 mm 전기 및 냉각수 커넥터 하부 배치 |
Order Code: LOTTE-i 2k2k BI UV1 - rc | Order Code: LOTTE-i 1k1k BI DD - sc |
STEP 3: 액세서리 및 소프트웨어 선택
| Order Code | Description |
| Accessories for Imaging Purposes | |
| GE-SR35 | 35mm in-vacuum shutter, including shutter driver module |
| GE-SR35 | 45mm in-vacuum shutter for 2k2k & 2k2k plus cameras, including shutter driver module |
| Accessories for Cooling Performance (LOTTE series can only be cooled by liquid cooling) | |
| GE-CR01 | Compact liquid cooling, circulating the coolant at room temperature for deep camera cooling |
| GE-CR02 | Recirculating water chiller, PID control with temp. from -5°C to 30°C for ultra-deep camera cooling |
| GE-VacP01 | 2x in-vacuum hoses, formed bellow 1/4”, VCR male/female, 305 mm (standard accessory) |
| GE-VacP02 | 2x in-vacuum hoses, formed bellow 1/4”, VCR male/female, 1200 mm (upon request) |
| Software Development Kit (SDK) and Drivers | |
| GE-LX01 | SDK for Linux (C/C++ based) |
| GE-PYT01 | Python driver |
| GE-LAB01 | LabVIEW driver |
| GE-EP | EPICS driver |
| GE-TAN | Tango driver |
STEP 4: 액세서리 및 소프트웨어 선택
직접적이고 신속한 대응을 바탕으로 다양한 맞춤 제작(Customisation) 및 OEM 서비스를 제공합니다. 예를 들어 다른 센서 타입 적용, 센서 위치·기울기 조정, 카메라 하우징(Housing) 또는 냉각 시스템 수정 등 여러 사양 변경에 대응할 수 있습니다. 필요한 LOTTE 사양을 알려 주시면 그에 맞는 구성을 검토할 수 있습니다.
추가로 궁금하신 사항이 있으시면 당사 홈페이지의 견적요청 또는 문의사항 탭을 이용해 주시거나, 유선 및 이메일로 연락 주시기 바랍니다.
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