CoreMorrow Piezo Actuators
정밀 위치 제어, 진동 제어, 광섬유 스트레칭용 저전압 PZT 피에조 스택 엑추에이터
(CoreMorrow)
CoreMorrow Piezo Actuators는 전압 인가에 따라 미세 변위와 힘을 발생시키는 저전압 PZT 피에조 스택 액추에이터 제품군입니다. 전기 에너지를 변위와 힘으로 변환하는 역압전 효과를 이용해 빠른 응답, 높은 강성, 높은 반복성을 제공하며, 과학 실험 장비와 산업용 정밀 시스템에서 미세 위치 제어용 구동 소자로 사용할 수 있습니다. 광섬유 스트레칭, 능동 진동 제어, 피에조 디스펜싱 밸브, 정밀 위치 조정, 피에조 변형 미러, 피에조 그리퍼, 레이저 공진기 튜닝처럼 작은 변위와 높은 힘이 동시에 필요한 응용에 적합합니다.
이 제품군은 PSt50, PSt100, PSt150 계열을 중심으로 구성되며, 구동 전압과 크기, 변위, 강성, 블로킹 힘에 따라 다양한 모델을 선택할 수 있습니다. PSt50 계열은 0~50 V, PSt100 계열은 0~100 V, PSt150 계열은 일반적으로 0~150 V 조건에서 동작하며, 장시간 안정적인 운용이 필요한 경우 PSt150 계열은 0~120 V 범위 사용이 권장됩니다. 모델에 따라 최대 변위는 약 1 µm급 소형 스택부터 56 µm급 장변위 스택까지 선택할 수 있고, 블로킹 힘은 수십 N부터 수만 N 수준까지 제공되어 소형 광학 장치부터 고하중 정밀 구동부까지 폭넓게 대응할 수 있습니다.
구조는 사각형 스택과 링형 스택으로 나뉘며, 설치 공간과 힘 전달 방식에 따라 적합한 형상을 선택할 수 있습니다. 사각형 플레이트 스택은 직선 방향의 미세 변위와 높은 축방향 힘이 필요한 구성에 적합하고, 링형 스택은 중앙 관통부가 필요한 광학 경로, 기계 결합부, 특수 구조물의 축방향 구동에 활용할 수 있습니다. 제품명은 PSt150/5×5/20처럼 구동 전압, 단면 크기, 대략적인 변위 또는 구조 정보를 포함하므로, 요구 변위와 하중 조건에 따라 적절한 모델을 비교하기 쉽습니다.
코팅은 사용 환경에 따라 선택할 수 있습니다. 회색 코팅은 얇은 절연층을 적용한 기본 구성으로, 진공 및 저온 환경에 대응할 수 있는 구성이 가능하고, 녹색 코팅은 더 두꺼운 보호층을 적용해 습기와 가벼운 충격으로부터 액추에이터를 보호하는 데 유리합니다. 검은색 코팅은 초저온 진공 환경을 고려한 특수 구성에 사용됩니다. 다만 저온 환경에서는 피에조 성능이 상온 대비 크게 감소할 수 있으므로, 실제 구동 변위와 힘이 중요한 경우 온도 조건을 함께 검토해야 합니다.
피에조 스택은 구조적으로 압축 방향 구동에 적합한 소자이므로 설치 방법이 중요합니다. 액추에이터에는 축방향으로 균일하게 힘이 전달되어야 하며, 비틀림, 전단력, 측면 하중, 국부적인 점하중은 피해야 합니다. 예압이 없는 피에조 스택은 인장 하중에 취약하기 때문에, 동적 구동이나 반복 구동이 필요한 경우 블로킹 힘의 일부에 해당하는 적절한 예압을 적용하는 것이 권장됩니다. 접착 고정 시에는 접착층을 매우 얇게 형성해야 하며, 스택 측면에 접착제가 번지지 않도록 주의해야 합니다.
동적 구동에서는 액추에이터의 정전용량, 구동 전압, 주파수에 따라 필요한 전류가 달라집니다. 따라서 고속 구동이나 큰 변위 구동이 필요한 경우에는 단순히 전압 범위만 보는 것이 아니라, 컨트롤러의 평균 전류와 피크 전류, 상승 시간, 발열 조건을 함께 검토해야 합니다. CoreMorrow의 E01.A3, E52, E53 계열 피에조 컨트롤러는 저전압 피에조 스택 구동에 사용할 수 있으며, 채널 수, 제어 방식, 개루프·서보 제어 요구사항에 따라 적합한 컨트롤러를 선택할 수 있습니다.
CoreMorrow Piezo Actuators는 피에조 스택 액추에이터, 저전압 PZT 액추에이터, 정밀 위치 제어 액추에이터, 광섬유 스트레처, 레이저 공진기 튜닝 액추에이터, 진동 제어용 피에조 구동 소자, 피에조 디스펜싱 밸브 구동부를 찾는 연구실과 산업용 장비에 적합합니다. 다양한 크기와 변위, 코팅 옵션, 높은 강성, 빠른 응답 특성을 바탕으로 정밀 광학, 반도체 장비, 나노포지셔닝, 능동 진동 제어, 정밀 유체 토출 시스템 등 여러 응용에 맞춰 구성할 수 있는 실용적인 피에조 구동 솔루션입니다.
특징
■ 1.2 × 1.2 mm부터 25 × 25 mm까지 다양한 크기 옵션을 제공하는 피에조 액추에이터
■ 최대 25,000 N 블로킹 포스를 지원하는 고하중 정밀 피에조 구동 성능
■ 최대 28 μm 이동 범위를 제공하는 정밀 피에조 액추에이터 솔루션
주요 적용 분야
- Fiber stretching
- Active vibration control
- Piezo dispensing valve
- Precision positioning
- Piezo Deformable Mirror
- Piezo gripper
제품 사양
| Models | Coating color
| Dimensions[1] a×b×L[mm] | Max./Stroke[2] [μm]±15% | El.capacitance [μF]±20% | Stiffness [N/μm]±10% | Resonant frequency [kHz] | Blocking Force [N] | Mass [g]±5%* |
| PSt50/1.2×1.2/1.7H | Gray | 1.22×1.3×1.7 | 1/0.8 | 0.045 | 50 | 100 | 80 | 0.09 |
| PSt100/1.65×1.65/5H | Gray | 1.66×1.72×5 | 4/3.2 | 0.090 | 30 | 50 | 120 | 0.48 |
| PSt150/2×3/5H | Gray | 2.1×3.1×5 | 6.5/5 | 0.1 | 45 | 150 | 300 | 0.4 |
| PSt150/2×3/5L | Green | 3×4×5 | ||||||
| PSt150/2×3/7H | Gray | 2.1×3.1×9 | 13/9 | 0.17 | 25 | 100 | 300 | 0.6 |
| PSt150/2×3/7L | Green | 3×4×9 | ||||||
| PSt150/2×3/10H | Gray | 2.1×3.1×10 | 13/9 | 0.18 | 22 | 100 | 300 | 0.7 |
| PSt150/2×3/10L | Green | 3×4×10 | ||||||
| PSt150/2×3/20H | Gray | 2.1×3.1×18 | 28/20 | 0.42 | 12 | 50 | 300 | 1.2 |
| PSt150/2×3/20L | Green | 3×4×18 | ||||||
| PSt150/3.5×3.5/7H | Gray | 3.6×3.6×9 | 13/9 | 0.35 | 50 | 100 | 800 | 1.05 |
| PSt150/3.5×3.5/7L | Green | 4.5×4.5×9 | ||||||
| PSt150/3.5×3.5/20H | Gray | 3.6×3.6×18 | 28/20 | 0.8 | 25 | 50 | 800 | 2.1 |
| PSt150/3.5×3.5/20L | Green | 4.5×4.5×18 | ||||||
| PSt150/5×5/7H | Gray | 5.1×5.1×9 | 13/9 | 0.8 | 120 | 100 | 1600 | 2 |
| PSt150/5×5/7L | Green | 6×6×9 | ||||||
| PSt150/5×5/20H | Gray | 5.1×5.1×18 | 28/20 | 1.8 | 60 | 50 | 1600 | 3.8 |
| PSt150/5×5/20L | Green | 6×6×18 | 28/20 | 1.8 | 60 | 50 | 1600 | 4.1 |
| PSt150/5×5/20 | Green | 6×6×20 | 28/20 | 1.5 | 60 | 50 | 1600 | 4.1 |
| PSt150/5×5/40L | Green | 6×6×36 | 56/40 | 3.6 | 30 | 25 | 1600 | 8.21 |
| PSt150/7×7/7H | Gray | 7.1×7.1×9 | 13/9 | 1.4 | 240 | 100 | 3500 | 3.8 |
| PSt150/7×7/7L | Green | 8×8×9 | ||||||
| PSt150/7×7/20H | Gray | 7.1×7.1×18 | 28/20 | 3.4 | 120 | 50 | 3500 | 8 |
| PSt150/7×7/20L | Green | 8×8×18 | ||||||
| PSt150/10×10/7H | Gray | 10.1×10.1×9 | 13/9 | 3.0 | 500 | 100 | 7000 | 8.1 |
| PSt150/10×10/7L | Green | 11×11×9 | ||||||
| PSt150/10×10/20H | Gray | 10.1×10.1×18 | 28/20 | 6.5 | 250 | 50 | 7000 | 14.8 |
| PSt150/10×10/20L | Green | 11×11×18 | ||||||
| PSt150/14×14/20H | Gray | 14.1×14.1×18 | 28/20 | 14.5 | 500 | 47 | 15000 | 31.3 |
| PSt150/14×14/20L | Green | 15×15×18 | ||||||
| PSt150/25×25/15H | Gray | 25.1×25.1×20 | 19/15 | 30.5 | 1282 | 50 | 20000 | 109.55 |
| PSt150/25×25/15L | Green | 26×26×20 |
Notes: In standard lead, the red line is positive. About PSt50/PSt100 series, the red line is negative.
[1] The dimensions of piezo stack is not include thickness of resin. The single side thickness of Gray resin is 50μm and the green resin is 0.5mm, outlet size single side +1mm, tolerance +/-0.2mm, the heightness tolerance +/-0.05mm.
[2] PSt150: stroke is under 0~150V, Max. stroke is under -30~150V. Recommended voltage 0-120V for long-time high reliability. PSt50: Max. stroke is under 0~50V. PSt100: Max. stroke is under 0~100V.
PDM 어플리케이션 영상
