M ePLAN NIR 시리즈
1064 nm YAG 레이저 가공과 명시야 관찰을 지원하는 근적외선 대물렌즈
(Shibuya Optical)
M-ePLAN NIR 시리즈는 940–1064 nm 근적외선 영역과 1064 nm YAG 레이저 기반 재료 가공에 적합하도록 설계된 고NA 근적외선 대물렌즈입니다. 무한 보정 광학계(Infinity Corrected Optical System)를 기반으로 하며, 근적외선 레이저 가공뿐 아니라 일반 명시야 관찰도 함께 지원해 레이저 가공, 미세 패턴 관찰, 고해상도 검사 시스템에 효율적으로 적용할 수 있습니다. 특히 가시광 640 nm와 근적외선 940–1064 nm 영역을 함께 고려한 보정 설계로, 관찰과 가공 조건이 함께 필요한 광학 장비에 적합합니다.
이 제품군은 단순한 근적외선 대응 대물렌즈가 아니라, 높은 개구수(NA)를 통해 미세 구조 관찰과 정밀 레이저 집속 성능을 강화한 고해상도 대물렌즈입니다. M-ePLAN-NIR50은 50X 배율과 NA 0.65를 제공하며, 3.1–3.83 mm 범위에서 작동 거리(Working Distance)를 조정할 수 있어 시료 조건이나 장비 구성에 맞춘 세팅이 가능합니다. 100X 모델은 더 높은 배율과 해상도가 필요한 응용에 적합하며, M-ePLAN-NIR100은 NA 0.75와 0.37 µm 분해능을, M-ePLAN-NIR100A는 NA 0.8과 0.34 µm 분해능을 제공해 근적외선 영역에서 더욱 세밀한 관찰과 정밀한 레이저 가공을 지원합니다.
또한 M-ePLAN NIR 시리즈는 45 mm 동초점 거리(Parfocal Distance)를 기준으로 설계되어 현미경 및 레이저 가공 시스템에 통합하기 쉽고, 100X NA 0.75 모델에는 고출력 레이저 환경에 대응하기 위한 보호 유리(Protection Glass)가 적용되어 안정적인 운용에 도움이 됩니다. 근적외선 대물렌즈, YAG 레이저 가공 대물렌즈, 1064 nm 대물렌즈, 고NA 무한 보정 대물렌즈, 레이저 재료 가공용 현미경 대물렌즈를 찾는 고객에게 M-ePLAN NIR 시리즈는 관찰 성능과 레이저 가공 적합성을 함께 제공하는 정밀 광학 솔루션입니다.
특징
- 무한 보정 설계 기반의 고성능 근적외선 대물렌즈
- 가시광 640 nm 및 근적외선 940–1064 nm 영역 보정 설계
- 고해상도 관찰 및 레이저 가공에 적합한 대물렌즈 광학 성능
- 45 mm 동초점 거리로 안정적인 현미경 광학계 구성 지원
- 50배 대물렌즈 작업 거리 조정 가능
- 100배 NA 0.75 대물렌즈용 보호 유리 제공으로 고출력 레이저 환경 대응
제품 사양
| Model | M-ePLAN-NIR50 | M-ePLAN-NIR100 | M-ePLAN-NIR100A |
| Magnification | 50 X | 100 X | 100 X |
| NA (Numerical Aperture) | 0.65 | 0.75 | 0.8 |
| WD (Working Distance) | 3.1 - 3.83 mm | 3.4 mm | 3.3 mm |
| F (Focal length) | 3.6 mm | 1.8 mm | 1.8 mm |
| R (Resolving Power) | 0.42 um | 0.37 um | 0.34 um |
| DOF (Depth of Focal) | ±0.7 um | ±0.5 um | ±0.4 um |
| FD (Field Diameter) φ25 | φ0.5 mm | φ0.25 mm | φ0.25 mm |
| Field Area on 1/2'CCD | 0.1 x 0.13 mm | 0.05 x 0.06 mm | 0.05×0.06 mm |
