M iPLAN APO NUV 시리즈
반도체 회로 및 LC 보드 리페어용 532 nm SHG 레이저 대응 근자외선 대물렌즈
(Shibuya Optical)
M iPLAN APO NUV 시리즈는 가시광 영역부터 근자외선(NUV, Near Ultraviolet) 영역까지 색수차를 보정하도록 설계된 근자외선 대응 아포크로매틱 대물렌즈입니다. 일반적인 관찰용 대물렌즈를 넘어, 전 시야에서 높은 해상도를 유지하도록 설계되어 반도체 회로, LC 보드, 미세 패턴 검사와 같이 정밀한 관찰 성능이 필요한 광학 시스템에 적합합니다. 특히 532 nm SHG 레이저에 대한 높은 내성을 갖추고 있어, 근자외선·가시광 관찰과 레이저 기반 리페어 공정을 함께 고려하는 장비에 효과적으로 적용할 수 있습니다.
이 제품군은 20X와 50X 배율 구성을 제공하며, 사용 목적에 따라 긴 작동 거리와 고해상도 성능 중 필요한 조건을 선택할 수 있습니다. M-iPLAN-APO NUV20은 17.15 mm의 긴 작동 거리와 NA 0.4를 제공해 시료와 렌즈 사이의 작업 공간이 필요한 검사 환경에 적합하고, M-iPLAN-APO NUV50은 50X 배율에서 14.81 mm 작동 거리를 제공해 배율과 사용 편의성을 균형 있게 확보할 수 있습니다. 더 높은 해상도가 필요한 경우에는 M-iPLAN-APO NUV-HD50 모델을 통해 NA 0.7과 0.39 µm 분해능을 활용할 수 있어, 미세 회로 관찰이나 고정밀 리페어 장비에 보다 적합한 구성이 가능합니다.
또한 M iPLAN APO NUV 시리즈는 95 mm 동초점 거리 기준으로 설계되어 현미경 및 산업용 검사 장비에 통합하기 쉽고, φ25 시야 기준의 관찰 조건과 1/2" CCD 대응 시야 정보를 제공해 카메라 기반 검사 시스템 설계에도 활용하기 좋습니다. 근자외선 대물렌즈, 532 nm 레이저 리페어 대물렌즈, 반도체 회로 리페어 대물렌즈, LC 보드 검사 대물렌즈, 아포크로매틱 현미경 대물렌즈를 찾는 고객에게 M iPLAN APO NUV 시리즈는 고해상도 관찰, 근자외선 대응, 레이저 내성을 함께 제공하는 정밀 광학 솔루션입니다.
특징
- 가시광부터 근자외선 영역까지 보정된 색수차 보정 대물렌즈
- 전 시야에서 높은 해상력을 제공하는 고성능 광학 설계
- 레이저 SHG 532 nm에 대한 높은 내성을 갖춘 레이저 가공용 대물렌즈
- 반도체 회로 및 LCD 보드 리페어 공정에 적합한 정밀 대물렌즈 솔루션
- 95 mm 동초점 거리로 안정적인 현미경 광학계 구성 지원
제품 사양
| Model | M-iPLAN-APO | M-iPLAN-APO | M-iPLAN-APO |
| Magnification | 20 X | 50 X | 50 X |
| NA (Numerical Aperture) | 0.4 | 0.43 | 0.7 |
| WD (Working Distance) | 17.15 mm | 14.81 mm | 3.5 mm |
| F (Focal length) | 10 mm | 4 mm | 4 mm |
| R (Resolving Power) | 0.69 um | 0.64 um | 0.39 um |
| DOF (Depth Of Focal) | ±1.7 um | ±1.5 um | ±0.6 um |
| FD (Field Diameter) φ25 | φ1.25 mm | φ0.5 mm | φ0.5 mm |
| Field Area on 1/2'CCD | 0.24 x 0.32 mm | 0.1 x 0.13 mm | 0.1 x 0.13 mm |
