CoreMorrow Single-Direction Shear Actuators
최대 1.75 MHz 고속 전단형 피에조 액추에이터
(CoreMorrow)
CoreMorrow Single-Direction Shear Actuators는 전압 인가 시 세라믹의 상부와 하부가 서로 평행한 방향으로 이동하는 단방향 전단형 피에조 액추에이터입니다. 일반적인 두께 방향 피에조 액추에이터와 다른 수평 전단 변위를 제공하므로, 정밀 위치 조정, 고속 스캐닝, 광학 부품 미세 구동 및 진동 제어 시스템에 적용할 수 있습니다.
CSAP01부터 CSAP04까지의 표준 모델은 ±320 V 구동 조건에서 단일 액추에이터 기준 최대 1.5 μm의 이동 범위를 제공합니다. 크기는 2 × 2 mm부터 15 × 15 mm까지 선택할 수 있으며, 모든 표준 모델의 두께는 0.5 mm로 제한된 설치 공간에 통합하기 적합합니다.
050005 모델은 5 × 5 × 1.09 mm 크기로, ±700 V 이상의 구동 조건에서 3.28 μm 이상의 이동 범위를 제공합니다. 단일 액추에이터보다 더 긴 이동 범위가 필요한 경우 여러 개의 전단형 소자를 적층하여 전체 변위를 확장할 수 있으며, 크기와 적층 구조에 대한 커스텀 제작도 지원합니다.
무부하 공진 주파수는 표준 CSAP 모델 기준 최대 약 1.75 MHz로, 빠른 응답과 고주파 동작이 필요한 시스템에 적합합니다. 050005 모델은 약 800 kHz의 무부하 공진 주파수를 제공하며, 실제 시스템에 장착한 이후에는 부하, 접착층 및 기계적 구조의 영향으로 공진 주파수가 낮아질 수 있습니다.
최대 작동 온도는 200°C이며, 전극에는 니켈 위에 금을 도금한 Au/Ni 전극이 적용됩니다. 모델별 정전용량은 약 0.13~7.47 nF로 비교적 낮아 고속 구동에 유리하며, 피에조 컨트롤러 선정 시 구동 전압과 정전용량을 함께 고려해야 합니다.
단방향 전단 구조와 높은 공진 주파수를 기반으로 정밀 광학 정렬, 고속 스캐닝, 미세 위치 제어, 진동 보정, 전단 변형 발생 장치 및 커스텀 피에조 모듈에 활용할 수 있습니다.
특징
■ 단일 전단 액추에이터 기준 최대 1.5 μm 스트로크 지원
■ ±320 V 구동 전압을 지원하는 전단형 피에조 액추에이터
■ 적층 구성을 통해 긴 스트로크와 대형 사이즈 구현 가능
■ 맞춤형 사양 대응이 가능한 전단형 피에조 액추에이터
제품 사양
Models | CSAP01 | CSAP02 | CSAP03 | CSAP04 | 050005 |
L [mm] | 2 (±0.1) | 5 (±0.1) | 10 (±0.2) | 15 (±0.3) | 5 (±0.15) |
W [mm] | 2 (±0.1) | 5 (±0.1) | 10 (±0.2) | 15 (±0.3) | 5 (±0.15) |
H [mm] | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 1.09 (±0.1) |
Voltage [V] | ±320V | ±320V | ±320V | ±320V | ≥±700V |
Chamfer [mm] | 0.2×45 ͦ | 0.5×45 ͦ | 1×45 ͦ | 1.5×45 ͦ | 0.5×45 ͦ |
Stroke [μm] | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | ≥3.28 |
El.capacitance [nF] | 0.13 | 0.83 | 3.32 | 7.47 | 0.38 |
Maximum Operating Temperature [℃] | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 |
Unloaded Resonance Frequency [kHz] | 1750.00 | 1750.00 | 1750.00 | 1750.00 | 800 |
Electrodes | Au on Ni, plated | Au on Ni, plated | Au on Ni, plated | Au on Ni, plated | Au on Ni, plated |
