
CoreMorrow Plate Piezo Actuators
최대 16,800 N 블로킹 포스의 고강성 피에조 액추에이터
(CoreMorrow)

CoreMorrow Plate Piezo Actuators는 높이 2 mm의 컴팩트한 플레이트 구조로 설계된 피에조 액추에이터입니다. 제한된 설치 공간에서 나노미터 수준의 정밀 변위와 높은 구동력을 제공하며, 정밀 위치 제어, 고속 진동 제어, 광학 부품 조정 및 고하중 미세 구동 시스템에 적용할 수 있습니다.
제품은 60 V, 150 V 및 200 V 구동 버전으로 제공되며, 단일 플레이트 액추에이터 기준 최대 3.3 μm의 이동 범위를 구현합니다. 적용 장비의 사용 가능한 구동 전압과 요구 변위에 따라 적합한 모델을 선택할 수 있으며, 여러 개의 액추에이터를 적층하면 더 긴 이동 범위와 대형 구동 구조를 구성할 수 있습니다.
플레이트 크기는 2 × 2 mm부터 최대 20 × 20 mm까지 제공됩니다. 크기가 커질수록 강성과 블로킹 포스가 증가하며, 최대 사양인 MTP17은 200 V 구동에서 3.3 μm의 이동 범위, 5,091 N/μm의 강성 및 최대 16,800 N의 블로킹 포스를 제공합니다. 소형 모델부터 고하중 모델까지 폭넓게 구성되어 있어 설치 공간과 요구 하중에 맞춘 선택이 가능합니다.
공진 주파수는 모델에 따라 486 kHz 이상 또는 500 kHz 이상으로, 빠른 응답과 고속 동작이 요구되는 시스템에 적합합니다. 정전용량은 모델과 구동 전압에 따라 25~1,800 nF 범위이며, 구동 주파수와 정전용량을 고려하여 적절한 피에조 컨트롤러를 선정해야 합니다.
표준 모델 외에도 크기, 구동 전압, 적층 수량 및 전체 구조에 대한 커스텀 제작을 지원합니다. 단일 액추에이터의 컴팩트한 구조와 높은 블로킹 포스를 활용하거나, 여러 개를 적층하여 이동 범위를 확장할 수 있어 정밀 스테이지, 액티브 진동 제어, 광학 정렬 장치, 밸브 구동 및 커스텀 피에조 모듈 제작에 활용할 수 있습니다.
특징
■ 단일 플레이트 액추에이터 기준 최대 3.3 μm 스트로크 지원
■ 60 V / 150 V / 200 V 구동 전압 버전을 제공하는 플레이트형 피에조 액추에이터
■ 적층 구성을 통해 긴 스트로크와 대형 사이즈 구현 가능
■ 맞춤형 사양 대응이 가능한 플레이트형 피에조 액추에이터
제품 사양
Models | MTP01 | MTP02 | MTP03 | MTP11 | MTP12 | MTP13 | MTP14 |
LxW [mm x mm] | 2x2 | 3x2 | 5x5 | 2x2 | 3x3 | 5x5 | 7x7 |
H [mm] | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
Voltage [V] | 60 | 60 | 60 | 150 | 150 | 150 | 150 |
Stroke | 3 | 3 | 3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 |
El.capacitance | 150 | 400 | 1080 | 25 | 65 | 190 | 380 |
Resonant Frequency | >486 | >486 | >486 | >486 | >486 | >486 | >486 |
Stiffness | 56 | 126 | 350 | 51 | 115 | 318 | 624 |
Blocking Force | 168 | 378 | 1050 | 168 | 378 | 1050 | 2060 |
Weight | 0.07 | 0.15 | 0.37 | 0.05 | 0.14 | 0.4 | 0.79 |
Models | MTP15 | MTP21 | MTP22 | MTP23 | MTP17 | MTP24 | MTP25 |
LxW [mm x mm] | 10x10 | 7x7 | 10x10 | 15x15 | 20×20 | 3x3 | 5x5 |
H [mm] | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
Voltage [V] | 150 | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 |
Stroke | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 1.9 | 1.9 |
El.capacitance | 760 | 220 | 440 | 970 | 1800 | 25 | 80 |
Resonant Frequency | >486 | >486 | >486 | >486 | >486 | >500 | >500 |
Stiffness | 1273 | 624 | 1273 | 2864 | 5091 | 161 | 400 |
Blocking Force | 4200 | 2060 | 4200 | 9450 | 16800 | 290 | 800 |
Weight | 1.58 | 0.78 | 0.61 | 3.66 | 6.4 | 0.14 | 0.38 |
