H80K1T25/T35-C
피에조 구동 일체형 미러 마운트 액추에이터
(CoreMorrow)
H80K1T25/T35-C Integrated Mirror Mounts Piezo Actuator는 렌즈 또는 미러의 정밀 위치 조정과 빠른 이미지 시프트(Image Shift), 위상 이동(Phase Shifting) 응용을 위해 설계된 피에조 구동 일체형 미러 마운트 액추에이터입니다. H80K1T25-C는 표준 Φ25.4 mm 렌즈에, H80K1T35-C는 표준 Φ35 mm 렌즈에 대응하며, 내부 피에조 세라믹 튜브(Piezo Ceramic Tube)를 통해 Z축 방향의 정밀 선형 변위를 제공합니다. 0~150 V 전압 구동으로 약 0.6 μm의 미세 변위를 구현할 수 있어, 간섭계(Interferometry), 광경로 조정, 고속 나노 스테핑처럼 정밀한 광학 위치 제어가 필요한 시스템에 적합합니다.
이 제품의 장점은 피에조 기반의 빠른 선형 구동과 수동 각도 조정 기능을 하나의 마운트 안에 결합했다는 점입니다. 전압 제어를 통해 μs 수준의 빠른 스텝 조정이 가능하며, 동시에 θx 및 θy 2축 틸트 각도를 수동으로 조정할 수 있어 광학 정렬과 이미지 시프트 조정을 보다 직관적으로 수행할 수 있습니다. 각 축당 ±3° 범위의 수동 편향 조정을 지원하므로, 광학계의 기본 정렬을 먼저 맞춘 뒤 피에조 구동을 이용해 미세한 위상 이동이나 초정밀 위치 보정을 수행하기에 유리합니다.
또한 47.8 kHz 수준의 높은 무부하 공진 주파수와 40 nF 정전용량 사양을 갖추고 있어 빠른 응답성이 요구되는 연구용 광학 실험 및 정밀 계측 시스템에 활용하기 좋습니다. 표준 렌즈 직경 외에도 맞춤형 구성이 가능해, 피에조 미러 마운트, 나노 포지셔닝 액추에이터, 고속 위상 이동 장치, 간섭계용 피에조 스테이지, 광경로 정렬용 정밀 액추에이터를 찾는 고객에게 적합한 솔루션입니다. H80K1T25/T35-C는 수동 정렬의 편의성과 피에조 구동의 고속·고정밀 제어를 동시에 제공하여, 이미지 시프트 및 위상 제어 기반 광학 시스템의 성능을 한 단계 높여줄 수 있습니다.
특징
- 0–150 V 전압 구동으로 약 0.6 μm 이동 범위 지원
- 수동 편향 조정과 피에조 구동 선형 모션 동시 지원
- θx, θy 2축 수동 각도 조정 가능
- 단일 축 기준 0–±3° 편향 각도 조정 범위 제공
- 25.4 mm 및 35 mm 표준 렌즈 장착 지원
- 맞춤형 렌즈 직경 및 응용 사양 대응 가능
주요 적용 분야
- Fast nano-stepping
- Phase shifting
- Optical path adjustment
- Interferometry
- Fast step adjustment
제품 사양
| Types | H80K1T25-C | H80K1T35-C | Units | |
| Active axes | Piezo drive | Z | Z | |
| Manual | θx、θy | θx、θy | ||
| Travel (piezo) | 0.6 | 0.6 | μm±10% | |
| Manual θx θy tilt angle | ±3 | ±3 | °/axis | |
| Unloaded resonant frequency | 47.8 | 47.8 | kHz±20% | |
| El.capacitance | 40 | 40 | nF±20% | |
| Standard loadable lens diameter | Φ25.4 (Customizable) | Φ35 (Customizable) | mm | |
| Max.driving voltage | 0~150 | 0~150 | V | |
| Mass | 265 | 270 | g±5% | |
