CoreMorrow P15.XY1000S/K Flexible Drive Piezo Nano Stage 
XY축 1 mm 이동 범위와 나노미터급 정밀도를 지원하는 장거리 피에조 나노포지셔닝 스테이지 

(CoreMorrow) 

 P15.XY1000S/K는 XY축 정밀 위치 조정에서 넓은 이동 범위와 나노미터급 정밀도를 동시에 요구하는 응용을 위해 설계된 장거리 피에조 나노포지셔닝 스테이지입니다. P15 시리즈의 플렉셔 가이드 구조와 고성능 피에조 세라믹 구동 방식을 기반으로, 각 축에서 0~120 V 구동 시 800 µm, 0~150 V 구동 시 최대 1000 µm의 이동 범위를 제공합니다. XY 평면에서 1 mm × 1 mm 영역을 정밀하게 스캔할 수 있어, 대면적 시료나 웨이퍼, 생체 조직 절편, 광학 시료를 반복적으로 옮기지 않고 더 넓은 범위에서 측정·검사·가공할 수 있습니다.

이 제품은 장거리 이동이 가능한 구조이면서도 피에조 스테이지의 핵심 장점인 빠른 응답과 정밀 위치 제어를 유지합니다. 폐루프 모델은 SGS 센서를 통해 위치를 피드백하며, full-bridge 구조를 적용해 온도 변화로 인한 드리프트 영향을 줄일 수 있습니다. 장시간 연속 운전이나 실험실 온도 변화가 있는 환경에서도 위치 안정성을 유지하기 쉽고, 폐루프 기준 35 nm, 개루프 기준 10 nm의 분해능을 제공합니다. 폐루프 선형성은 0.025% F.S., 반복성은 0.02% F.S.로 제시되어, 대면적 스캔에서도 위치 재현성이 중요한 정밀 검사와 계측 응용에 적합합니다.

 구조적으로는 마찰이 없는 플렉셔 가이드 시스템을 사용해 기존 기계식 가이드에서 발생할 수 있는 마모, 백래시, 유격 문제를 줄였습니다. 이러한 구조는 고주파 반복 스캔, 장시간 현미경 이미징, 레이저 스캔 가공처럼 동일한 경로를 반복적으로 움직이는 작업에서 안정적인 위치 제어에 유리합니다. 또한 25 × 25 mm 중앙 관통부를 제공해 투과광 기반 현미경, 공초점 현미경, 근접장 주사 광학 현미경처럼 시료 아래쪽 또는 광축 방향 공간이 필요한 구성에도 적용할 수 있습니다.

 P15.XY1000S/K는 200 × 200 × 33 mm 크기의 XY축 스테이지로, 수평 장착 기준 0.15 kg 하중을 지원합니다. 무부하 공진 주파수는 폐루프 210 Hz, 개루프 95 Hz이며, 150 g 하중 조건에서는 각각 150 Hz, 89 Hz로 제시됩니다. 스텝 응답은 폐루프 기준 120 ms @ 50 g, 개루프 기준 30 ms 수준으로, 넓은 이동 범위 안에서 정밀 스캔과 위치 보정을 함께 수행해야 하는 시스템에 사용할 수 있습니다. 필요에 따라 진공 환경용 커스텀 버전도 구성할 수 있어 일반 실험실뿐 아니라 특수 공정 장비나 진공 기반 측정 환경에도 대응할 수 있습니다.

 응용 분야는 반도체 제조와 웨이퍼 결함 검사, 대면적 표면 검사, 3D 이미징, 생명공학, 세포 조작, 레이저 미세가공, 정밀 계측, 광학 정렬 등으로 넓게 확장됩니다. 예를 들어 대형 웨이퍼의 국부 영역 검사에서는 1 mm 이동 범위를 통해 스테이지 이동 횟수를 줄이고 정렬 오차를 낮출 수 있으며, 표면 형상 측정이나 3D 이미징에서는 여러 번의 이미지 연결 과정에서 발생하는 오차를 줄이는 데 유리합니다. 바이오칩이나 배양 접시 기반 미세 조작에서는 넓은 작업 영역과 나노미터급 위치 제어를 함께 활용할 수 있고, 레이저 에칭이나 레이저 마킹에서는 더 넓은 영역의 미세 패턴 가공에 적용할 수 있습니다.

 권장 컨트롤러는 E70.D2S-L 다채널 피에조 컨트롤러입니다. 이 컨트롤러는 2채널 구동을 지원하며, 직렬 통신, USB, 네트워크 포트를 통한 디지털 제어가 가능합니다. DC 24 V 전원 기반으로 동작하고 최대 10 kHz 대역폭을 제공하며, 아날로그 신호 또는 디지털 신호를 이용한 제어가 가능해 P15.XY1000S/K의 개루프·폐루프 구성을 모두 지원할 수 있습니다. P15.XY1000S/K는 장거리 XY 피에조 스테이지, 1 mm 나노포지셔닝 스테이지, 중앙 관통형 피에조 스테이지, 웨이퍼 검사 스테이지, 대면적 표면 검사 스테이지, 레이저 미세가공용 정밀 스테이지를 찾는 고객에게 적합한 고정밀 포지셔닝 솔루션입니다.

특징

■ 마찰과 마모를 줄인 고정밀 플렉셔 가이드 구조로 장시간 정밀 스캐닝 안정성 유지
■ 개루프 및 폐루프 버전 선택이 가능하며, 폐루프 구성에서 나노미터급 고정밀 위치 제어 지원
■ FEA 최적화 기반의 높은 XY 스캐닝 평탄도로 표면 검사 및 3D 이미징 정확도 향상
■ 투과광 응용에 적합한 중앙 관통부 구조로 공초점 현미경 및 근접장 주사 광학 현미경 구성 지원
■ 진공 환경 대응 커스텀 버전으로 특수 실험 환경에서 정밀 피에조 포지셔닝 적용 가능

주요 적용 분야

■ Semiconductor Manufacturing

■ Surface Inspection and 3D Imaging

■ Biotechnology and Micromanipulation

■ Laser Technology and Micro-nano Processing

■ Metrology and Precision Alignment

제품 사양

권장 컨트롤러

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